|
BSRF课题实验总结表 |
| BSRF课题实验总结表BSRF课题实验总结表. 申请表编号：. 课题名称. 课题负责人, 单位. 实验站名称, BSRF合作者. 课题申请时间, 首次上机时间. 用光. 记录. 年 月 日 共 小时, 年月 日 共 小时. 年月 日 共 小时, 年月 日 共 小时. 课题的意义和目的. 实验情况及结果： ... ... |
|
|
BSRF上的LIGA标准化工艺 |
| BSRF上的LIGA标准化工艺同步辐射LIGA技术标准工艺. 中科院北京高能物理研究所. 设备情况. 由于（BSRF）上的3W1束线存在光强太大、光谱太硬的特点， ... 在863计划的支持下，进行了同步辐射曝光工艺研究，初步确定了新条件下的标准工艺条件。对于2毫米的超厚结构，采用对PMMA光刻 ... ... |
9 7 3 1 4 8 :